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石英管清洗设备：卧式、立式
石英管清洗设备：卧式、立式
Ø应用领域：半导体制程、MEMS、光纤制程
Ø相关工艺：石英管内外壁清洗
Ø常用化学品：HNO3、HF、活性剂等
