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自动清洗设备
自动清洗设备：
Ø应用领域：半导体制程、MEMS制程
Ø相关工艺：Al腐蚀、Si腐蚀、SiO2腐蚀等
Ø常用化学品：Al腐蚀液、KOH、BOE、DHF等
