名称：上海矽振电子科技有限公司
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性能指标
操作温度范围
2 0 0 到1 2 5 0 度（ 1 3 0 0 度采用APM线加热器）
一致加热区，最大每分钟15.0升气流，气流根据晶圆数量大小，管道装载端的挡板状态而定
总直径10.0寸（251mm）以下
管道的恒温区：
Thermco 5200 扩散炉
5200系列 750-1250°C 38-42”
400-750°C 36-40”
5100系列 750-1250°C 26-30”
400-750°C 24-28”
冷启动斜坡温度：
平均斜坡温度每分钟15度
冷却温度：
炉内温度会从1200度以每分钟最少3度的水平直线降到900度。
长期稳定性：
炉内温度稳定在± 0.25° C以下
复原率：
以平均7500克装载量为标准，恒温区在18分钟内回复到900°C。
快速反应：
100度阶跃变化无需改变控制设定，且对均匀加热区影响很小。
管道内互动：
不同管道之间会有± 0.1°C的温度互动，这是由于热电偶结合部和对流冷却系统之间的温差。
设备要求：
电力：
440/460/480伏, 3相。 60赫兹 or
380/400/415伏, 3相，50赫兹。
控制系统：
120伏, 1相, 50/60赫兹，可选变压器。
水：
60华氏度8GPM（加仑每分钟）
电力系统：
稳定的二级控制，零角度SCR电力控制器加上高效的空气对流冷却系统。
