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CLS 860 系列连续液位监测
超声波点液位系统 860 系列旨在连续检测半导体行业 PVD、CVD 和 ALD 工艺中鼓泡器和安瓿中超纯液体化学品的液位。探头安装在标准安瓿的 3/4 英寸 VCR 填充口中,或者通过 Sensaras 设计的罐的侧面非侵入式地检测液体与底部的界面高度。探头上没有可能引入杂质的活动部件。它不依赖于化学品的颜色、介电常数、密度和粘度。该设计允许客户校准多个传感点。侵入式探头的所有接液部件均采用 316LSS 材质,经过电抛光处理并经过泄漏测试。每个探头都是根据用户的规格和要求定制的。电子设备远离探头安装,以适应更高温度的应用。传感器或液体之间无需校准或调整。
标准特性:
- 电子输出具有超过所需测量范围的模拟输出(4-20mA 或 0-5V)。
- 4 个设定点,带 NPN 输出,达到设定水平时有 LED 显示。
- 温度模拟输出。
- RS-232通讯
- 蓝牙显示器选项。
- 316LSS 中的单传感器结构
- 双系统无需液体变化或温度补偿校准
好处
- 超声波技术没有移动部件。
- 颜色、粘度、介电常数和密度不影响系统的性能。
- CLS860 程序可以通过 RS-232 进行更改。
- 高精度地估计批次运行。








