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PLS 960 系列多点液位监测

超声波点液位系统 960 系列旨在检测半导体行业 PVD、CVD 和 ALD 工艺中鼓泡器和安瓿中超纯液体化学品的液位。探头安装在安瓿的 1/2” 或 3/4” VCR 填充口中。探头上没有可能引入杂质的活动部件。它不依赖于化学品的颜色、介电常数、密度和粘度。该设计允许多个传感点。探头的所有接液部件均采用 316LSS 材质，经过电抛光处理并经过泄漏测试。每个探头都是根据用户的规格和要求定制的。电子设备远离探头安装，以适应更高温度的应用。传感器之间没有校准或调整。

标准特性：

  • 传感器可以制成任意长度。
  • 该传感器可配备 K 型热电偶传感器。
  • 设定点的间距可小至 0.1 英寸（2.5 毫米）。
  • 最低感应距离罐底部 0.3 英寸（7.6 毫米），距离传感器末端 0.2 英寸（5 毫米）。
  • 3/4VCR 上最多 7 点，½” VCR 上最多 5 点。
  • 标准最高可达 120°C，特殊高温最高可达 180°C。
  • 电子输出的每个点都有一个 LED 和一个 1A SPDT 继电器。
  • 此外，它还有一个 1A SPDT 故障功能继电器。
  • 带有故障安全继电器触点的电子设备选项。
  • 带有看门狗定时器电路的故障安全电子产品选项。
  • 具有标准、故障安全和 TC 显示功能的电子设备选项。

好处

  • 超声波技术没有移动部件。
  • 颜色、粘度、介电常数和密度不影响系统的性能。
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