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Bubbler Vessels 原液罐

CollabraTech的不锈钢鼓泡原液罐是设计用于支持各种蒸汽输送系统，

该系统用于半导体、太阳能及相关产业的制造过程中。

该原液罐为超高纯度(UHP) 罐体，适用于以下制程:

•原子层沉积

•等离子体增强原子

层沉积

•化学气相沉积

•等离子体增强化学品

层沉积

•外延

 

 

 

客户可选择标准的5-，10-和20升容积原液罐，

对于CTS鼓泡原液罐也可以非标定制，以支持专有的喷雾扩散配置。

其配置选项包括:

•进口可自动补液

•液面感知

•热调节

•前体监测

 

（How Bubbler Vessels Work）原液罐如何工作

作为蒸汽输送系统的一部分，鼓泡原液罐将把液体化学品转化为化学品蒸汽。当罐里

充满液体后，使用喷雾扩散器气体通入鼓泡罐鼓泡以达到******化的蒸汽

饱和度。来自主动线性液位传感器的反馈将容器维持在可配置的设定值水平。

 

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